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名稱

全自動晶圓專用接觸角測量儀

類型

晶圓型

機身材質

航空鋁

輸入電源

220V 50-60Hz

功率

10W

儀器尺寸

約890mm（W）*400mm(L)* 580mm(H)

儀器重量

約30KG

樣品平臺系統(tǒng)

平臺尺寸

直徑320mm

前后Y移動

自動：行程160mm,精度0.1mm

上下Z移動

手動：行程30mm,精度0.1mm

水平調(diào)整

整機水平調(diào)整，攝像頭水平調(diào)整（配送專業(yè)級XY水平儀）

可放置樣品

6-12寸

樣品臺材質

鋁合金帶四向對中技術

注射系統(tǒng)

注液移動行程

Y行程：40mm Z行程（自動）：35mm，精度0.1mm（針頭對中及液滴自動轉移）

滴樣控制移動

行程：60mm,精度：0.01mm

滴樣方式

自動

滴液精度

0.01ul

加液方式

自動（配送5ml玻璃燒杯加液）

微量進樣器

容量：500ul（全自動液位實時檢測）

針頭

標配0.5mm不銹鋼針頭（可替換）20個、超疏水針頭0.25mm（可替換）20個

采集系統(tǒng)

相機

日本SONY高速工業(yè)級芯片(Onsemi行曝光)

鏡頭

0.7x-4.5x

傳感器類型

1/1.8 英寸逐行掃描CMOS

分辨率

1280×1024

焦距

±2.5mm可調(diào)

圖像拍攝方法

單張、間隔、連續(xù)

拍攝間隔時間

500-3600000ms

視頻錄制方式

錄像、回播、合成

清晰度測量

全自動軟件對焦

最大拍攝速度

80幀/s

光源系統(tǒng)

光源

美國進口工業(yè)級白色冷光源（有效避免因光源散發(fā)熱量蒸發(fā)液滴）

組合方式

采用日本進口石英擴散膜使得亮度更均勻，液滴輪廓更清晰

使用壽命

5萬小時以上

亮度調(diào)節(jié)

PWM無極調(diào)節(jié)+軟件調(diào)節(jié)

亮度識別

算法自動識別亮度保證最佳亮度

光源波長

400～760nm

功率

1W

接觸角測量

接觸角測量方法

懸滴法、座滴法等

測量軟件

CA V2.0靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件

軟件操作系統(tǒng)要求

windows 10(64位)

接觸角測量方式

自動與手動

接觸角計算方法（static contact angle）

自動擬合法（ms級別一鍵全自動擬合，不存在人工誤差）、三點擬合、五點擬合、自動測量（包括圓擬合法/斜圓擬合法（Circle method/ Oblique Circle）、橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測量等

動態(tài)接觸角測量

（Dynamic contact angle）

前進角（Advancing angle），后退角（receding angle），滯后角（hysteresis angle）

(可批量擬合多張圖片或視頻連續(xù)擬合計算Video analysis)

基線擬合

自動與手動

角度范圍

0°＜θ＜180°

精度

0.1°

分辨率

0.001°

表面能

表面能測量方法

Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法（軟件中預裝37種液體數(shù)據(jù)庫，可自行建立液體性能參數(shù)）數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算，液體庫數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改。可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等

表面能單位

mJ/m2

表界面張力

測量方法

自動擬合+手動擬合

精度

0.01 mN/m

測量范圍

0.1mN/m-2000mN/m

潤濕性分析

粘附功

一鍵自動分析

鋪展系數(shù)

一鍵自動分析

粘附張力

一鍵自動分析

精度

0.001 mN/m

單位

mN/m

3.手動加樣系統(tǒng) 1套

4.手動CCD傾斜系統(tǒng) 1套

5.表界面分析測量系統(tǒng)應用軟件 1套

6.說明書紙質一份及說明書電子版 1份

7.保修卡及合格證1份

8.親水進樣針20個，疏水進樣針20個

9.500ul進樣器1個

10.電源線及數(shù)據(jù)線1條

11.XY專用水平儀1個

11.晶圓自動旋轉系統(tǒng) 1套